一：工作原理

全氟醚O形圈ORW是為特殊應用所定制的,它的工作原理同一般O形圈，可對兩個方向起密封作用。全氟醚橡膠具有極其穩定的抵抗高溫及化學藥品侵蝕的結構，既具有聚四氟乙烯(PTFE)的高溫穩定性,還可抵抗1600多種化學品的腐蝕，而其優異彈性性能有助于保持密封的可靠性，減少維修次數并提高安全性。

二：工作特點

1.優異的抗化學性及耐受高溫；

2.具有合成橡膠的特有彈性，潔凈度和持久密封力；

3.突出的的物理機械性能提高了服務壽命；

4.密封溝槽簡單。

三：材料及工作條件

        重要提示：溫度、壓力、速度極限值不能同時使用。

一、全氟醚橡膠的性能特點

全氟醚橡膠主要有四氟乙烯、全氟烷基乙烯基醚為主要單體，與少量帶硫化點的第三單體共聚而成，如下圖所示，聚合物中所有碳原子上的氫原子全被氟原子所取代，是一種完全不含有C-H鍵的橡膠。

圖  全氟醚橡膠分子結構

全氟醚橡膠分子結構中的氟含量、全氟化的乙烯基醚的結構和含量及硫化過程中交聯鍵的鍵能和數量決定了硫化膠料的性能和玻璃化轉變溫度，因此各品牌的全氟醚橡膠由于其單體的分子結構和組分有所差異，其性能也有一定的區別。

全氟醚橡膠的主要性能特點：

1）物理性能

全氟醚橡膠密度為1.9-2.0g/cm³，物理機械性能與氟橡膠接近，耐高溫壓縮永久變形性能優于氟橡膠。

2）耐化學藥品性

大分子連上沒有氫原子，表現出強的惰性，F原子半徑比取代前的H原子大很多，大分子鏈在排列時呈螺旋狀，C-C鍵基本被F原子組成的外殼所包圍，使聚合物具有顯著的耐化學藥品性。

一些橡膠材料的耐溶劑性

注：

A表示10%以下的溶脹（包括不溶脹），介質對橡膠性能影響不明顯；

B表示體積溶脹率10~20%，材料的性能受到一定程度的影響，但基本可用，只是產品壽命可能會縮短；

C表示材料對該介質的耐受性較差，要根據實際情況分析是否可用；

D表示該材料不能用于該介質環境。

類似于聚四氟乙烯，全氟醚橡膠除某些高氟碳溶劑外，不受任何介質影響，可耐強酸、強堿、有機溶劑、超高溫蒸汽、醚類、酮類、酯類、含氮化合物、碳化氫類、醇類、醛類、呋喃、胺基化合物等1600多種化學溶劑的腐蝕。

3）耐高低溫

全氟醚橡膠的使用溫度一般為260~290℃，可間歇性的用于316℃的高溫。由于分子支鏈上引入了少量的-OF3鏈節，支鏈的不規則排列改善了分子的柔順性，使橡膠的耐低溫性提高。一些品牌的全氟醚橡膠Tg達-19℃。

4）耐高溫蒸汽性

5）低釋放性和析出性

6）耐等離子體性

對于在等離子環境中，表現出高潔凈低析出的產品特性，可長時間承受等離子體撞擊。

全氟醚橡膠于1968年首次被美國杜邦公司研發成功，并在1975年以Kalrez®作為商品名投入商業化應用。目前相關材料企業有杜邦、3M、索爾維、大金氟化工、AGC等。

二、全氟醚橡膠的半導體應用

在半導體制造中，彈性體密封墊的可靠性非常關鍵，停產更換密封墊代價極高，為了避免出現潛在的風險，對密封件的清潔度和純凈度的要求都非常嚴格，同時密封件必須能夠在高真空度及侵蝕性化學氣體的壓力作用下及高溫環境中長期工作。

全氟醚橡膠原材料成本高昂，通常用于其他橡膠無法滿足的苛刻密封要求，如半導體制造。全氟醚橡膠耐等離子體腐蝕、氣體腐蝕、酸堿腐蝕、高溫腐蝕、橡膠密封高潔凈度要求，有助于保持密封的完整性，減少維修次數并提高安全性，是半導體制造的最佳密封材料。

全氟密封圈主要半導體應用

四：溝槽設計

和其它的彈性體O形圈類似，相同的設計規則也適用于全氟醚O形圈。

五：安裝

安裝之前，對溝槽及部件清潔，確保無毛刺、雜質，有螺紋的地方進行覆蓋，密封件和部件涂潤滑脂或潤滑油，使用手工或無銳邊的工具進行正確定位安裝，確保Ｏ形圈不扭曲，切忌過度拉伸O形圈。

六：參考設計標準

  　溝槽及產品尺寸、公差等符合ISO 3601-1/AS 568、其中公差符合ISO 3601-1,B級標準。其它參考如美國AS-568、日本JIS B2401、 中國GB/T3452.1-2005、GB/T3452.3-2005標準。

七：應用場合

全氟醚O形圈被廣泛應用于半導體、化學工業、石油天然氣、航空航天、醫療食品等工業的化學腐蝕和耐溫等工況要求苛刻的環境中。

八：訂貨示例